プログラム - EIDEC
EIDEC NDMプロジェクト最終成果報告会

EIDEC NDMプロジェクト最終成果報告会

プログラム

2019年3月11日(月)KFC Hall & Rooms KFCホール

講演スケジュール(予定)

時間 講演
13:00-13:10 Opening Remarks/来賓ご挨拶
13:10-15:10 特別公演
13:10-13:40 Flow Particle Tracking法を用いた 新たな粒子測定装置の開発
リオン株式会社 近藤 郁氏
13:40-14:10 ついに実現するEUVリソグラフィ - 要素技術研究に支えられて -
富士フイルム株式会社 藤森 亨氏
14:10-14:40 Directed Self-Assemblyによるパターン形成と欠陥制御に関して
東京エレクトロン九州株式会社 村松 誠氏
14:40-15:10 先端フォトマスクのチャレンジ
大日本印刷株式会社 林 直也氏
15:10-15:30 休憩
15:30-17:50 NDM プロジェクト成果報告
0.NDMプロジェクト概要
EIDEC 石内 秀美
1. 液中ナノ粒子・ナノバブル計測技術開発
産業技術総合研究所 計量標準総合センター
物質計測標準研究部門 主任研究員 加藤 晴久氏
EIDEC部長 冨田 寛
2. ナノ計測技術開発
 2-1. レジスト材料計測技術開発
 EIDEC部長 塩原 英志
 2-2. DSA計測技術開発
 EIDEC部長 東 司
3. ナノ欠陥検査標準技術開発
EIDEC部長 内山 貴之
18:00-19:30 意見交換会 (KFC Hall手前のホワイエにて開催)