EIDECワークショップ2018 プログラム - EIDEC
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EIDECワークショップ2018

EIDECワークショップ2018

プログラム

2018年6月6日(水)中央大学駿河台記念館 281号室

講演スケジュール(予定)

- IoT/Society5.0を支える新しいデバイスとそれに対応して進化する先端ナノ計測技術 -
時間 講演
13:00-14:30 Opening Remarks/来賓ご挨拶/招待講演
「次世代メモリ開発と計測・分析技術」
講演者:東芝メモリ株式会社
メモリ技術研究所 プロセス技術研究開発センター長 橋本 耕治様
「Continuing Moore’s Law and Needs for Advanced Nanoscale Metrology」
講演者:インテル株式会社
開発製造統括本部 技術戦略担当部長 北野 直樹様
14:30-15:00 休憩(Coffee break)
15:00-17:45 NDM プロジェクト報告
0.NDMプロジェクト概要
EIDEC 石内 秀美
1. 液中ナノ粒子・ナノバブル計測技術開発
産業技術総合研究所 計量標準総合センター
物質計測標準研究部門 主任研究員 加藤 晴久氏
EIDEC部長 冨田 寛
2. ナノ欠陥検査用標準技術開発
EIDEC部長 内山 貴之
3. ナノ計測技術開発
 3-1. レジスト材料計測技術開発
 EIDEC部長 井谷 俊郎
 大阪大学 産業科学研究所 副所長・教授 古澤 孝弘氏
 3-2. レジストアウトガス計測技術開発
 EIDEC部長 塩原 英志
 3-3. DSA計測技術開発
 EIDEC部長 東 司
 東京工業大学 物質理工学院 教授 早川 晃鏡氏
 京都大学 化学研究所 教授 竹中 幹人氏
 京都大学 学際融合教育研究推進センター 准教授 吉元 健治氏
18:00-19:30 意見交換会 (TKPガーデンシティ御茶ノ水 3F(3B+3C))
会場へのアクセス

ワークショップと意見交換会の会場が異なりますのでご注意ください。
会場へのアクセス