ホーム - EIDEC
HOME > EIDEC NDMプロジェクト最終成果報告会 概要
EIDEC NDMプロジェクト最終成果報告会

EIDEC NDMプロジェクト最終成果報告会

NDMプロジェクト最終成果報告会

株式会社 先端ナノプロセス基盤開発センター
代表取締役社長 石内 秀美

「開催趣旨」

EIDECは2011年に、「株式会社EUVL基盤開発センター」として会社設立、NEDO(*)共同研究事業「次世代半導体微細加工・評価基盤技術の開発」(2011年度~15年度)を核としたプロジェクトを受託し、EUVマスク検査・レジスト材料技術を主な対象として開発を進めてきました。また2016年度には社名を「株式会社先端ナノプロセス基盤開発センター」に変更、デバイス設計・製造にあたって問題となる、ナノレベル欠陥の改善・制御をテーマとして、NEDO委託事業「超先端材料超高速開発基盤技術プロジェクト」の中の「先端ナノ計測評価技術開発」を部分受託しました。この国家プロジェクトを軸として、民間研究開発も同時並行的に推し進める形で、NDM(Nano Defect Management)プロジェクトを推進する母体として、皆様からの支援を頂いてきました。

昨年6月には、「EIDEC最終成果報告会 2018」を開催し、『IoT/Society5.0を支える新しいデバイスとそれに対応して進化する先端ナノ計測技術』というテーマのもと、2件の招待講演、及びEIDECからのNDM研究成果についてご報告し、ワークショップご出席者皆様からのご意見等をフィードバックさせて頂く貴重な機会を得ました。

NDMプロジェクトは2019年3月をもってこの度完了することとなりました。その最終成果につきましてワークショップと同様の形態にてご報告する準備を進めております。

(*)NEDO: 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 の略称です。
(New Energy and Industrial Technology Development Organization)

2019年1月吉日

開催次第

日時 2019年3月11日(月)
場所 KFC Hall & Rooms KFCホール (東京・両国)
最終成果報告会 13:00~17:45
意見交換会 18:00~19:30(予定)
参加費 10,000円(税込)
※最終成果報告会・意見交換会参加費含む。